Бакалавриат
2024/2025
Научно-исследовательский семинар: высоковакуумная техника и технология напыления тонких пленок
Статус:
Курс обязательный (Физика)
Направление:
03.03.02. Физика
Где читается:
Факультет физики
Когда читается:
3-й курс, 1 модуль
Формат изучения:
без онлайн-курса
Охват аудитории:
для своего кампуса
Преподаватели:
Ионов Андрей Михайлович
Язык:
русский
Кредиты:
3
Программа дисциплины
Аннотация
Предметом изучения дисциплины являются современные методы получения, измерения и сохранения вакуума. В системе подготовки они должна занимать существенное место, т.к. вакуум является непременным условием функционирования современных физических приборов различного назначения и вакуумных технологических установок. Для изучения дисциплины необходимы знания математики, информатики, физики, физической химии в пределах программ естественно-научного цикла дисциплин.
Цель освоения дисциплины
- практическое знакомство с современной вакуумной техникой;
- формирование у студентов профессиональных компетенций и навыков, позволяющих формулировать, создавать и применять физические модели для решения практических задач;
- формирование навыков проведения измерения вакуума и навыка критического анализа полученных данных;
- получение практического навыка использования современных экспериментальных методов сбора и анализа данных;
Планируемые результаты обучения
- умеет решать задачи на данную тему
- пользоваться полученными знаниями для решения экспериментальных и теоретических задач в составе малой группы
- умеет делать качественные выводы при получении новых результатов исследований, производить оценки параметров и характеристик материалов
Содержание учебной дисциплины
- Изучение теории и техники получения тонких пленок металла методом вакуумного испарения, исследование зависимости толщины пленки от взаимного расположения подложки и испарителя; изучение на примере установки ВУП–4 широко используемых в физическом эксперименте многофункциональных вакуумных установок
- Конструктивные элементы вакуумных систем, конструирование и сборка вакуумного поста для для физических экспериментов.
- Масс-спектральный анализ вакуумных процессов. Принцип действия массспектрометров. Термообработка, обезгаживание и анализ газовыделения в вакууме.
- Получение и измерение безмасляного и сверхвысокого вакуума и вакуумные насосы
- Течеискание. Требования к герметичности вакуумных систем. Вакуумметрический, масс-спектральный методы течеискания
Элементы контроля
- Устный коллоквиум в формате ответа по вопросам лекций
- Еженедельная домашняя подготовка к лабораторной работе
- Экзамен
Промежуточная аттестация
- 2024/2025 1st module0.3 * Еженедельная домашняя подготовка к лабораторной работе + 0.2 * Устный коллоквиум в формате ответа по вопросам лекций + 0.5 * Экзамен
