2026/2027

Оборудование производства изделий электронной техники

Статус: Маго-лего

Кто читает: Департамент электронной инженерии

Где читается: Московский институт электроники и математики им. А.Н. Тихонова

Охват аудитории: для своего кампуса

Язык: русский

Кредиты: 6

Контактные часы: 60

Программа дисциплины

Аннотация

Дисциплина направлена на ознакомление с современной номенклатурой специального технологического и контрольно-измерительного оборудования электронного машиностроения. Рассматриваются общность и различие оборудования, требования к параметрам его функционирования, структуры основных функциональных узлов, методы расчета основных параметров и проектирования основных структурных элементов. В дисциплине изучается оборудование обработки полупроводниковых пластин, термической и вакуумно-термической обработки, электрофизической и плазмохимической обработки.

Цель освоения дисциплины

• Формирование компетенций инженера, связанных с назначением, типологией, структурой, проектированием и эксплуатацией специального технологического и контрольно-измерительного оборудования электронного машиностроения.

Планируемые результаты обучения

• Определяет различные виды специального технологического оборудования электронного машиностроения.
• Рассчитывает основные функциональные подсистемы специального технологического оборудования электронного машиностроения.
• Определяет различные виды контрольно-измерительного оборудования электронного машиностроения.
• Рассчитывает основные функциональные подсистемы контрольно-измерительного оборудования электронного машиностроения.

Содержание учебной дисциплины

• Специальное технологическое оборудование
• Контрольно-измерительное оборудование

Элементы контроля

• Расчётная работа 1
• Расчётная работа 2
• Экзамен

Промежуточная аттестация

• 2026/2027 3rd module
  1 * Расчётная работа 1
• 2026/2027 4th module
  0.4 * Расчётная работа 2 + 0.6 * Экзамен

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

• Технология обработки материалов. Оборудование электронно-лучевых комплексов : учебник для вузов / А. В. Щербаков, Р. В. Родякина, В. В. Новокрещенов, В. Н. Ластовиря. — 2-е изд., испр. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 183 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-10970-2. — Текст : электронный // Образовательная платформа Юрайт [сайт]. — URL: https://urait.ru/bcode/585521 (дата обращения: 02.07.2026).

Рекомендуемая дополнительная литература

• Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия, Синдо, Д., 2006
• Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок, Берлин, Е. В., 2007
• Деулин Е.А., Басманов М.С. - Инженерная вакуумная техника - 978-5-9729-2434-9 - Инфра-Инженерия - 2025 - https://znanium.ru/catalog/document?id=470052 - 470052 - ZNANIUM
• Методы оптической и электронной микроскопии : учебник, Галлямов, М. О., 2024
• Нанотехнологические процессы и оборудование электронной техники, Васин, В. А., 2009
• Новикова, Ю. А. Вакуумные технологии. Нанесение оптических покрытий в вакууме : учебное пособие / Ю. А. Новикова, Г. В. Терещенко. — Санкт-Петербург : ГУАП, 2024. — 98 с. — ISBN 978-5-8088-1965-8. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/497561 (дата обращения: 00.00.0000). — Режим доступа: для авториз. пользователей.
• Основы электронной микроскопии : учебное пособие для вузов, Морозова, К. Н., 2021

Авторы

• Селиверстова Людмила Петровна
• Ветров Владимир Алексеевич