2026/2027
Технология интегральных микросхем
Язык:
русский
Кредиты:
6
Контактные часы:
48
Программа дисциплины
Аннотация
Дисциплина направлена на ознакомление с современными технологиями производства интегральных схем – физическими явлениями и физико-техническими эффектами, основными технологическими операциями, методами расчёта параметров операций и проектирования технологии.
Цель освоения дисциплины
- Формирование знаний по технологии изготовления современных интегральных микросхем с предельно малыми размерами элементов.
Планируемые результаты обучения
- Разрабатывает и исследует физико-математические модели микро- и наноэлектронных элементов и устройств, оптоэлектронных приборов.
- Разрабатывает модели технологических процессов, используемых для создания микро- и наноэлектронных элементов и устройств, оптоэлектронных приборов.
Содержание учебной дисциплины
- Структура интегральных микросхем
- Технологические процессы изготовления интегральных схем
Промежуточная аттестация
- 2026/2027 2nd module0.5 * Экзамен + 0.5 * Разработка карты технологического процесса
Список литературы
Рекомендуемая основная литература
- Рогов, В. А. Наноматериалы и нанотехнологии : учебник для вузов / В. А. Рогов. — 3-е изд., перераб. и доп. — Москва : Издательство Юрайт, 2026. — 174 с. — (Высшее образование). — ISBN 978-5-534-20502-2. — Текст : электронный // Образовательная платформа Юрайт [сайт]. — URL: https://urait.ru/bcode/584353 (дата обращения: 02.07.2026).
Рекомендуемая дополнительная литература
- Абрамчук, Н. С. Нанотехнологии. Азбука для всех : учебное пособие / Н. С. Абрамчук, Н. С. Авдошенко, А. Н. Баранов. — 2-е изд., испр. и доп. — Москва : ФИЗМАТЛИТ, 2009. — 368 с. — ISBN 978-5-9221-1048-8. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/2664 (дата обращения: 00.00.0000). — Режим доступа: для авториз. пользователей.
- Материалы и методы нанотехнологии : учеб. пособие, Старостин, В. В., 2008
- Наноматериалы и нанотехнологии : учебник для вузов / Е. И. Пряхин, С. А. Вологжанина, А. П. Петкова, О. Ю. Ганзуленко , под редакцией Е. И. Пряхин. — 4-е изд., стер. — Санкт-Петербург : Лань, 2026. — 372 с. — ISBN 978-5-507-54396-0. — Текст : электронный // Лань : электронно-библиотечная система. — URL: https://e.lanbook.com/book/508069 (дата обращения: 00.00.0000). — Режим доступа: для авториз. пользователей.