Магистратура 2025/2026

Технология наноструктур

Статус: Курс обязательный (Физика)

Кто читает: Базовая кафедра физики конденсированных сред Института физики твердого тела РАН

Когда читается: 1-й курс, 1, 2 модуль

Охват аудитории: для своего кампуса

Преподаватели: Федотова Яна Викторовна

Язык: русский

Программа дисциплины

Аннотация

Настоящая дисциплина относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин студентов, обучающихся на базовой кафедре «Физика конденсированных сред». В ходе лекционного курса происходит формирование у студентов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур, развитие умений, основанных на проектировании, изготовления и характеризации твердотельных структур: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия. Также студенты осваивают моделирование научных и прикладных технологических задач по созданию наноструктур, учатся критически оценивать применимость используемых методов, а также анализировать результаты, получаемые в ходе научно-исследовательской работы.