Магистратура 2025/2026

Технология наноструктур

Статус: Курс обязательный (Физика)

Кто читает: Базовая кафедра физики конденсированных сред Института физики твердого тела РАН

Когда читается: 1-й курс, 1, 2 модуль

Охват аудитории: для своего кампуса

Преподаватели: Федотова Яна Викторовна

Язык: русский

Программа дисциплины

Аннотация

Настоящая дисциплина относится к вариативной части профессионального цикла дисциплин студентов, обучающихся на базовой кафедре «Физика конденсированных сред». В ходе лекционного курса происходит формирование у студентов профессиональных компетенций, связанных с использованием современных подходов к решению задач проектирования, изготовления и характеризации твердотельных наноструктур, развитие умений, основанных на проектировании, изготовления и характеризации твердотельных структур: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия. Также студенты осваивают моделирование научных и прикладных технологических задач по созданию наноструктур, учатся критически оценивать применимость используемых методов, а также анализировать результаты, получаемые в ходе научно-исследовательской работы.

Цель освоения дисциплины

• - формирование у студентов профессиональных компетенций в области физики конденсированных сред, приобретение студентами навыков самостоятельной работы;
• - формирование подходов, основанных на полученных знаниях, позволяющих проводить научные исследования и анализировать полученные результаты;
• развитие умений, позволяющих проектировать, изготовливать и давать характеристику твердотельным структурам: фотолитография, электронная литография, жидкостное и плазменное травление, нанесение тонких пленок, микроскопия;

Планируемые результаты обучения

• Знание современных методов проектирования, моделирования и характеризации наноструктур. Умение применять полученные знания для научной работы в области физики конденсированных сред, критически анализировать исследования в области физики конденсированных сред, опубликованные в научных журналах и доложенные на международных конференциях

Содержание учебной дисциплины

• Введение в предмет. Слоистые структуры, объемные структуры на подложках, истинно-объемные структуры. Характеризация наноструктур
• Типичные материалы для наноструктурирования. Жидкостное и плазменное травление материалов. Мягкие и жесткие маски.
• Фотолитография и электронная литография
• Нанесение тонких пленок. Формирование омических контактов.

Элементы контроля

• Практическая работа
  В ходе практической работы необходимо на выданной студенту подложке подготовить структуру с заданными характеристиками, используя один из изученных в курсе методик.
• Доклад
  Устный доклад подразумевает выполнение презентации по одному из частных вопросов темы текущей лекции длительностью не более 10 минут.
• Экзамен
  Итоговый контроль - экзамен в конце 2-го модуля. Проводится устно в формате беседы по программе курса. Билет содержит 1 вопрос по материалам лекций и одну задачу.

Промежуточная аттестация

• 2025/2026 2nd module
  0.25 * Доклад + 0.25 * Практическая работа + 0.5 * Экзамен

Список литературы

Рекомендуемая основная литература

• Róz, A. L. D., Ferreira, M., Leite, F. de L., & Oliveira, O. N. (2017). Nanostructures. Oxford, UK: Elsevier. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1237260

Рекомендуемая дополнительная литература

• Kaushik, B. K. (2019). Nanoscale Devices : Physics, Modeling, and Their Application. Boca Raton: CRC Press. Retrieved from http://search.ebscohost.com/login.aspx?direct=true&site=eds-live&db=edsebk&AN=1943964

Авторы

• Федотова Яна Викторовна
• Поварова Любовь Ивановна