Моделирование процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии
Соискатель:
Костомаров Павел Сергеевич
Руководитель:
Ивашов Евгений Николаевич (др. работы под рук-вом)
Ведущая организация:
ФГБОУ ВПО «Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники»
Оппоненты:
Антамошкин Александр Николаевич; Павлов Александр Юрьевич
Специальность:
05.13.12 Системы автоматизации проектирования
Дата защиты:
24.12.2015
В диссертационной работе выполнено обзорно-аналитическое исследование в области автоматизации проектирования устройств оборудования для процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии (ИУФЛ). Рассмотрен теоретический подход к решению задачи создания элементов системы автоматизации проектирования устройств ИУФЛ (УИУФЛ). Предложена методика выбора рационального варианта технического решения УИУФЛ. Реализован синтез алгоритмов поиска технических решений устройств оборудования для ИУФЛ
Диссертация [*.pdf, 6.82 Мб] (дата размещения 22.10.2015)
Автореферат [*.pdf, 707.80 Кб] (дата размещения 22.10.2015)